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超純水設備
  • 產品型號:
  • 更新時間:2022-08-03
簡要描述:

超純水設備
集成電路工業(yè)中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外,其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水

產品詳情

制備超純水設備的工藝大致分成以下幾種:
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→砂碳過濾器→陽床→陰床→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→砂碳過濾器→反滲透設備→原水箱→純水泵→混床→后置精密過濾器→純水箱→用水點
3、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進行搭配的的方式,這是一種制取超純水的工藝,也是一種環(huán)保,經濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原?rarr;砂碳過濾器→反滲透設備→原水箱→純水泵→電去離子(EDI)→純水箱→用水點
4、采用反滲透+混合床方式,其流程如下:
原水→原水加壓泵→砂碳過濾器→反滲透→中間水箱→中間水泵→混合床→微孔過濾器→用水點

以下為一經典18x106Ω•cm工藝流程及圖片:
原水→原水泵→砂碳過濾器→加藥裝置→一級反滲透→中間水箱→PH調節(jié)裝置→二級反滲透→二級水箱→輸送泵→精密過濾器→TOC去除機→EDI→超純水箱→輸送泵→拋光混床→UV殺菌器→精密過濾器→用水點

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